项目

方向

指标

具体要求

托举重量

Z方向

重量

**设计荷重 80公斤

材质

Z方向

\

满足托举重量的同时机械变形≤1mm

面积

XY平面

长（X）

1.2m

宽（Y）

1.0m

平整度

XY平面

\

平整度误差不得超过1mm

驱动方式

Z方向

\

步进电机+光栅

平移

X方向

行程

300mm  (+/-150mm)

平移速度

1~40mm/s

位移精度

0.1mm

Y方向

行程

300mm  (+/-150mm)

平移速度

1~40mm/s

位移精度

0.1mm

垂直位移

Z方向

行程

400mm (+/-200mm)

水平平移推动速度

1~20 mm/s (非垂直升降移动速度)

位移精度

0.1 mm

倾斜角位移

XY轴

**倾斜角度

30度 (+/-15度)

角位移精度

0.1度

旋转角位移

Z轴

**倾斜角度

30度 (+/-15度)

角位移精度

0.1度

驱动方式

位移

步进电机+光栅

定位对准

\

\

光栅+角位仪  读取实际运动位移及角度

其他

\

\

应具有调零、归零、行程测量、限位保护功能

X、Y、Z方向；以及 Rx, Ry, Rz三轴每个方向光栅+角位仪 读取实际运动位移及角度，将距离位置和角度值精确采集，平台上应有金属刻度尺指示。要有防尘机制，所有机构件维护保养周期至少1年以上。

需配备水平仪，方便用户调整水平度。